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Michael MacEwan
Escuela Colombiana de Ingeniería Julio Garavito
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Advanced Monitoring of TMAH Solution
Acceso Cerrado
Fuente: Diffusion and defect data, solid state data. Part B, Solid state phenomena/Solid state phenomena
Jing Jing Wang
Eugene Shalyt
Chuan Nan Bai
Guang Chuan Liang
Michael MacEwan
Vishal Parekh
Temas:
Photoresist
Materials science
Wafer
Etching (microfabrication)
Photolithography
Ammonium hydroxide
Aqueous solution
Tetramethylammonium hydroxide
Fabrication
Nanotechnology
Critical dimension
Chemical engineering
Chemistry
Organic chemistry
Optics
Medicine
Alternative medicine
Layer (electronics)
Pathology
Engineering
Physics
Publicado: 2014
Citaciones:
3
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Artículo de revista
Process Control for Advanced Packaging Metallization
Acceso Cerrado
Fuente: Additional Conferences (Device Packaging HiTEC HiTEN & CICMT)
Eugene Shalyt
Michael Pavlov
Danni Lin
Michael MacEwan
Helen H Lu
Paul I Okagbare
Temas:
Interconnection
Process control
Metrology
Process engineering
Nanotechnology
Process (computing)
Advanced process control
Computer science
Process window
Materials science
Engineering
Telecommunications
Statistics
Mathematics
Operating system
Publicado: 2019
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Artículo de revista
Modernization of Metrology for Metallization Solutions with ICP - A Quality Control Requirement
Acceso Cerrado
Fuente: IMAPSource Proceedings
Paul I Okagbare
Michael MacEwan
Eugene Shalyt
Temas:
Metrology
Modernization theory
Quality (philosophy)
Control (management)
Reliability engineering
Manufacturing engineering
Materials science
Engineering
Computer science
Political science
Artificial intelligence
Physics
Optics
Quantum mechanics
Law
Publicado: 2024
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