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Hecho en Colombia
Karla Valdez
Universidad Politécnica de Sinaloa
Universidad Politécnica de Puerto Rico
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Relationship between CH4/Ar ratio, stoichiometry, and mechanical properties of TaCx coatings produced by reactive magnetron sputtering
Acceso Cerrado
Fuente: Applied Surface Science
Karla Valdez
Harvi Alirio Castillo Cuero
Leonel Cota Araiza
Jorge Hernan Quintero Orozco
Elisabeth Restrepo Parra
Wencel De La Cruz
Temas:
Stoichiometry
Cavity magnetron
Materials science
Sputter deposition
Sputtering
Composite material
Analytical Chemistry (journal)
Chemical engineering
Chemistry
Nanotechnology
Physical chemistry
Thin film
Environmental chemistry
Engineering
Publicado: 2021
Citaciones:
3
Altmétricas:
0
Artículo de revista
Influence of bilayers period on mechanical properties of TaNx/TaCx multilayers obtained by direct current magnetron sputtering
Acceso Cerrado
Fuente: Thin Solid Films
Karla Valdez
Harvi Alirio Castillo Cuero
Jorge Hernan Quintero Orozco
Elisabeth Restrepo Parra
Wencel De La Cruz
Temas:
Direct current
Materials science
Sputter deposition
Sputtering
Current (fluid)
Period (music)
Cavity magnetron
Metallurgy
Optoelectronics
Nanotechnology
Thin film
Physics
Thermodynamics
Acoustics
Power (physics)
Publicado: 2021
Citaciones:
0
Altmétricas:
0
Artículo de revista
1
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